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山东力冠微电子装备有限公司的站点快照： 山 东 力 冠 微 电 子 装 备 有 限 公 司 半 导 体 装 备 制 造 石 墨 烯 设 备 l i g u a n 1 2 1 8 @ 1 6 3 . c o m 1 5 5 6 2 4 5 0 8 1 6 中 文 | E n g l i s h 网 站 首 页 关 于 我 们 公 司 简 介 企 业 文 化 专 利 证 书 产 品 展 示 第 一 代 半 导 体 工 艺 设 备 第 二 代 半 导 体 工 艺 设 备 第 三 代 半 导 体 工 艺 设 备 第 四 代 半 导 体 工 艺 设 备 石 墨 烯 设 备 晶 体 设 备 新 闻 资 讯 公 司 新 闻 行 业 资 讯 合 作 伙 伴 工 程 团 队 招 贤 纳 士 管 理 理 念 加 入 力 冠 联 系 我 们 E n g l i s h Q u o t e N o w 产 品 展 示 主 要 从 事 半 导 体 专 用 设 备 的 研 发 、 生 产 、 销 售 与 专 业 化 的 技 术 服 务 。 了 解 详 情 氮 化 镓 （ G a N ） H V P E 单 晶 生 长 设 备 卧 式 ♦ 用 于 氮 化 镓 ( G a N ) 单 晶 生 长 ♦ 用 于 氧 化 镓 ( G a ₂ O ₃ ) 、 氮 化 铝 ( A I N ) 、 磷 化 铟 ( I n P ) 、 砷 化 镓 ( G a A s ) 外 延 生 长 氮 化 镓 （ G a N ） H V P E 单 晶 生 长 设 备 立 式 ♦ 用 于 氮 化 镓 ( G a N ) 单 晶 生 长 ♦ 用 于 氧 化 镓 ( G a ₂ O ₃ ) 、 氮 化 铝 ( A I N ) 、 磷 化 铟 ( I n P ) 、 砷 化 镓 ( G a A s ) 外 延 生 长 P V T 单 晶 生 长 设 备 ♦ 本 设 备 主 要 用 于 碳 化 硅 ( S i C ) 、 氮 化 铝 ( A I N ) 单 晶 生 长 S i C 籽 晶 粘 接 设 备 ♦ 籽 晶 的 粘 接 工 艺 技 术 是 将 S i C 籽 晶 通 过 有 机 胶 粘 接 在 石 墨 纸 上 ， 提 高 籽 晶 粘 接 质 量 是 保 证 高 品 质 S i C 晶 体 生 长 的 首 要 前 提 。 M P C V D 设 备 ♦ 微 波 等 离 子 化 学 气 相 沉 积 技 术 ( M P C V D ) , 通 过 等 离 子 增 加 前 驱 体 的 反 应 速 率 , 降 低 反 应 温 度 。 适 合 制 备 面 积 大 、 均 匀 性 好 、 纯 度 高 、 结 晶 形 态 好 的 高 质 量 的 金 刚 石 单 晶 和 多 晶 薄 膜 S i C 高 温 氧 化 设 备 ♦ 专 门 用 于 硅 碳 化 合 物 ( S i C ) 的 氧 化 处 理 ， 可 实 现 S i C 片 在 高 温 真 空 环 境 下 完 成 高 温 氧 化 工 艺 。 氧 化 工 艺 使 用 湿 法 氧 化 气 体 或 N 2 O 、 N O 、 N O 2 , 是 最 安 全 的 毒 性 气 体 氧 化 炉 ♦ 设 备 适 用 于 S i C 基 功 率 器 件 制 造 中 的 高 温 氧 化 工 艺 环 节 ♦ 加 热 腔 与 工 艺 腔 独 立 密 闭 设 计 ， 提 供 工 艺 腔 的 洁 净 度 S i C 高 温 退 火 设 备 ♦ 专 门 用 于 硅 碳 化 合 物 ( S i C ) 的 离 子 激 活 和 退 火 处 理 ， 可 实 现 S i C 片 在 高 温 真 空 环 境 下 完 成 活 性 工 艺 ♦ 设 备 适 用 于 S i C 基 功 率 器 件 制 造 中 的 离 子 激 活 和 退 火 工 艺 环 节 ♦ 加 热 腔 与 工 艺 腔 独 立 密 闭 设 计 ， 提 供 工 艺 腔 的 洁 净 度 坩 埚 下 降 设 备 ◆ 主 要 用 于 4 8 英 寸 砷 化 镓 、 磷 化 铟 等 化 合 物 单 晶 生 长 ◆ 设 备 由 机 架 、 安 部 支 撑 机 构 、 加 热 器 和 控 制 系 统 组 成 ◆ 能 够 实 现 安 移 动 和 转 动 的 精 确 控 制 L P C V D 卧 式 ♦ L P C V D 设 备 是 半 导 体 集 成 电 路 制 造 的 重 要 设 备 之 一 ， 主 要 用 于 多 晶 硅 、 氮 化 硅 、 氧 化 硅 薄 膜 的 生 长 , 它 是 将 原 材 料 气 体 ( 或 者 液 态 源 气 化 ) 用 热 能 激 活 发 生 化 学 反 应 而 在 基 片 表 面 生 成 固 体 薄 膜 ， L P C V D 过 程 是 在 低 压 下 进 行 的 ， 由 于 气 压 低 ， 气 体 分 子 平 均 自 由 程 大 ， 使 生 长 的 薄 膜 均 匀 性 好 ， 此 外 基 片 可 以 竖 放 使 得 设 备 装 片 量 大 ， 特 别 适 用 于 工 业 化 生 产 L P C V D 立 式 ♦ L P C V D 设 备 是 半 导 体 集 成 电 路 制 造 的 重 要 设 备 之 一 ， 主 要 用 于 多 晶 硅 、 氮 化 硅 、 氧 化 硅 薄 膜 的 生 长 , 它 是 将 原 材 料 气 体 ( 或 者 液 态 源 气 化 ) 用 热 能 激 活 发 生 化 学 反 应 而 在 基 片 表 面 生 成 固 体 薄 膜 ， L P C V D 过 程 是 在 低 压 下 进 行 的 ， 由 于 气 压 低 ， 气 体 分 子 平 均 自 由 程 大 ， 使 生 长 的 薄 膜 均 匀 性 好 ， 此 外 基 片 可 以 竖 放 使 得 设 备 装 片 量 大 ， 特 别 适 用 于 工 业 化 生 产 P E C V D 卧 式 ♦ P E C V D 主 要 应 用 于 氧 化 硅 ( S i O ₂ ) 和 氮 化 硅 ( S i N 4 ) 材 料 的 薄 膜 生 长 ， 工 作 原 理 是 在 低 压 引 入 高 频 射 频 电 源 ， 采 取 电 容 耦 合 方 式 使 工 艺 气 体 电 离 放 电 ， 形 成 等 离 子 体 状 态 ， 产 生 大 量 的 活 性 基 团 ， 这 些 活 性 基 团 在 衬 底 材 料 表 面 发 生 化 学 反 应 并 沉 积 到 衬 底 表 面 ， 生 长 出 氧 化 硅 ( S i O ₂ ) 或 氮 化 硅 ( S i N 4 ) 薄 膜 氧 化 / 扩 散 设 备 ♦ 该 设 备 是 半 导 体 生 产 线 前 工 序 的 重 要 工 艺 设 备 之 一 ， 用 于 大 规 模 集 成 电 路 、 分 立 器 件 、 电 力 电 子 、 光 电 器 件 等 行 业 的 扩 散 、 氧 化 、 退 火 、 合 金 和 烧 结 等 工 艺 ♦ 设 计 了 硅 片 生 产 的 多 种 工 艺 性 能 需 要 ， 具 有 生 长 效 率 高 、 产 品 性 能 优 越 的 特 点 ♦ 具 有 污 染 低 、 占 地 面 积 小 、 温 度 均 匀 、 可 装 载 晶 圆 尺 寸 大 、 工 艺 稳 定 性 高 等 优 点 ♦ 主 要 用 于 初 始 氧 化 层 、 屏 蔽 氧 化 层 、 衬 垫 氧 化 层 、 牺 牲 氧 化 层 、 场 氧 化 层 等 多 种 氧 化 介 质 层 的 制 备 工 艺 真 空 退 火 设 备 ◆ 主 要 用 于 半 导 体 器 件 退 火 及 烧 结 等 工 艺 ， 可 进 行 真 空 、 气 体 保 护 等 ◆ 设 备 结 构 新 颖 , 操 作 方 便 ◆ 在 一 台 设 备 上 可 以 完 成 多 个 工 艺 流 程 L P E 外 延 炉 ◆ 气 相 外 延 是 一 种 单 晶 薄 层 生 长 方 法 ◆ 气 相 外 延 广 义 上 是 化 学 气 相 沉 积 的 一 种 特 殊 方 式 ， 其 生 长 薄 层 的 晶 体 结 构 是 单 晶 衬 底 的 延 续 ， 而 且 与 衬 底 的 晶 向 保 持 对 应 的 关 系 ◆ 在 半 导 体 科 学 技 术 的 发 展 中 ， 气 相 外 延 发 挥 了 重 要 作 用 ◆ 砷 化 踪 ( G a A s ) 气 相 外 延 技 术 生 长 的 砷 化 鲸 ( G a A s ) 纯 度 高 、 电 学 特 性 好 ， 广 泛 的 应 用 于 霍 尔 器 件 、 耿 氏 二 极 管 、 场 效 应 晶 体 管 等 微 波 器 件 中 晶 体 提 拉 设 备 ◆ 直 拉 法 晶 体 生 长 专 用 设 备 ， 可 实 现 在 高 压 、 真 空 和 保 护 气 氛 下 直 拉 生 长 晶 体 ◆ 采 用 自 动 称 重 结 构 ， 在 保 证 晶 体 品 质 的 前 提 下 实 现 了 直 拉 晶 体 的 自 动 生 长 过 程 石 墨 烯 薄 膜 C V D 设 备 ◆ 本 系 统 是 一 套 完 备 的 石 墨 烯 制 备 系 统 , 包 括 硬 件 和 软 件 部 分 ◆ 工 作 在 常 压 气 氛 或 真 空 条 件 ， 通 过 控 制 生 长 工 艺 ， 既 可 以 生 长 出 六 边 形 的 石 墨 烯 单 晶 ， 也 可 以 生 长 出 花 瓣 状 的 石 墨 烯 的 单 晶 石 墨 烯 卷 对 卷 ♦ 石 墨 烯 薄 膜 产 业 化 设 备 ♦ 宽 幅 卷 对 卷 连 续 生 长 ♦ A P C 系 统 : 真 空 蝶 阀 自 动 控 制 ♦ 碳 源 等 工 艺 气 体 M F C 控 制 ♦ 薄 膜 制 备 过 程 全 自 动 控 制 ♦ 三 腔 室 结 构 山 东 力 冠 微 电 子 装 备 有 限 公 司 聚 力 成 事 · 名 冠 天 下 山 东 力 冠 微 电 子 装 备 有 限 公 司 成 立 于 2 0 1 3 年 ， 同 年 6 月 正 式 成 为 中 国 电 子 专 用 设 备 工 业 协 会 会 员 ； 2 0 1 8 年 1 1 月 ， 被 山 东 省 科 技 厅 认 定 为 “ 高 新 技 术 企 业 ” ； 2 0 1 9 年 3 月 被 第 三 代 半 导 体 产 业 技 术 创 新 战 略 联 盟 评 为 副 理 事 长 单 位 ， 同 年 9 月 荣 获 中 国 创 新 创 业 大 赛 · 国 际 第 三 代 半 导 体 专 业 赛 优 胜 奖 ； 2 0 2 2 年 、 2 0 2 3 年 分 别 被 山 东 省 工 信 厅 认 定 为 “ 创 新 型 中 小 企 业 ” 与 “ 专 精 特 新 中 小 企 业 ” 。 作 为 一 家 国 家 高 新 技 术 企 业 ， 公 司 常 年 与 国 内 知 名 半 导 体 企 业 、 科 研 院 校 等 保 持 密 切 合 作 ， 产 品 被 广 泛 应 用 于 集 成 电 路 、 功 率 半 导 体 、 化 合 物 半 导 体 、 5 G 芯 片 、 光 通 信 、 M E M S 等 新 型 电 子 器 件 制 造 领 域 。 经 过 十 年 的 发 展 ， 已 成 为 一 家 集 研 发 、 生 产 、 销 售 为 一 体 的 半 导 体 工 艺 装 备 制 造 商 。 企 业 视 频 服 务 客 户 了 解 详 情 我 们 的 优 势 主 要 从 事 半 导 体 专 用 设 备 的 研 发 、 生 产 、 销 售 与 专 业 化 的 技 术 服 务 。 经 验 丰 富 山 东 力 冠 成 立 于 2 0 1 3 年 ， 是 一 家 集 研 发 、 生 产 、 销 售 为 一 体 的 专 业 装 备 制 造 企 业 ， 是 中 国 电 子 专 用 设 备 工 业 协 会 会 员 、 第 三 代 半 导 体 产 业 技 术 创 新 战 略 联 盟 副 理 事 长 单 位 。 品 质 保 障 截 至 目 前 已 通 过 授 权 专 利 3 0 个 ， 其 中 ， 发 明 专 利 4 个 ， 实 用 新 型 1 8 个 ， 软 件 著 作 权 8 个 。 实 力 雄 厚 目 前 公 司 拥 有 大 型 加 工 中 心 、 激 光 切 割 机 、 自 动 焊 机 、 V C R 焊 机 、 大 型 车 床 、 铣 床 、 钻 床 、 剪 板 机 、 炉 丝 卷 绕 机 、 打 标 机 等 设 备 私 人 定 制 能 够 尽 可 能 满 足 不 同 客 户 的 高 精 尖 定 制 需 求 ， 确 保 绝 大 多 数 机 械 零 部 件 可 研 发 、 可 自 制 、 可 改 造 。 新 闻 资 讯 为 客 户 提 供 优 质 的 产 品 和 完 善 的 服 务 ， 向 着 国 际 化 ， 现 代 化 企 业 昂 首 阔 步 前 进 。 了 解 详 情 2 0 2 3 / 1 1 / 2 9 政 府 特 聘 顾 问 政 府 特 聘 顾 问 2 0 2 3 / 1 1 / 2 9 公 司 新 工 厂 开 工 仪 式 公 司 新 工 厂 开 工 仪 式 2 0 2 3 / 1 1 / 2 9 公 司 资 本 签 约 仪 式 公 司 资 本 签 约 仪 式 2 0 2 3 0 7 1 8 2 0 2 3 年 中 国 半 导 体 设 备 发 展 趋 势 预 测 分 析 随 着 半 导 体 技 术 的 不 断 进 步 ， 半 导 体 器 件 集 成 度 不 断 提 高 。 一 方 面 ， 芯 片 工 艺 节 点 不 断 缩 小 ， 且 还 在 向 更 先 进 的 方 向 发 展 ; 另 一 方 面 晶 圆 的 尺 寸 却 不 断 扩 大 。 此 外 ， 半 导 体 器 件 的 结 构 也 趋 于 复 杂 ， 通 过 增 加 立 体 层 数 ， 解 决 平 面 上 难 以 微 缩 的 工 艺 问 题 。 这 些 对 半 导 体 专 用 设 备 的 精 密 度 与 稳 定 性 的 要 求 越 来 越 高 ， 未 来 半 导 体 设 备 将 向 高 精 密 化 与 高 集 成 化 方 向 发 展 。 2 0 2 3 0 7 1 8 日 本 半 导 体 出 口 禁 令 波 及 中 国 国 产 设 备 迎 机 遇 5 月 2 3 日 ， 日 本 政 府 出 台 半 导 体 制 造 设 备 出 口 管 制 措 施 ， 将 芯 片 制 造 设 备 等 2 3 个 品 类 列 入 出 口 管 理 的 管 制 对 象 ， 新 规 将 于 7 月 2 3 日 正 式 生 效 。 2 0 2 3 0 7 1 8 半 导 体 行 业 二 季 度 缓 慢 复 苏 设 备 板 块 一 枝 独 秀 受 半 导 体 行 业 周 期 “ 磨 底 ” 、 消 费 电 子 市 场 需 求 恢 复 缓 慢 等 影 响 ， 今 年 A 股 半 导 体 行 业 上 市 公 司 半 年 度 业 绩 预 告 显 示 ， 归 母 净 利 润 普 遍 同 比 下 滑 ， I C 设 计 、 封 测 等 环 节 成 为 “ 重 灾 区 ” ， 。 环 比 来 看 ， 部 分 头 部 企 业 第 二 季 度 业 绩 已 经 企 稳 复 苏 ， 盈 利 环 比 增 长 ， 人 工 智 能 、 汽 车 电 子 、 电 网 等 板 块 贡 献 业 绩 ， 有 公 司 表 示 下 半 年 将 企 稳 增 长 。 在 线 留 言 提 交 产 品 展 示 第 一 代 半 导 体 工 艺 设 备 第 三 代 半 导 体 工 艺 设 备 石 墨 烯 薄 膜 设 备 晶 体 生 长 设 备 快 速 退 火 炉 联 系 我 们 地 址 ： 济 南 市 槐 荫 区 济 南 宽 禁 带 半 导 体 产 业 园 电 话 ： 1 5 5 6 2 4 5 0 8 1 6 邮 箱 ： l i g u a n 1 2 1 8 @ 1 6 3 . c o m C o p y r i g h t © 山 东 力 冠 微 电 子 装 备 有 限 公 司 网 站 建 设 ： 中 企 动 力 济 南 二 分 | 标 签 | 营 业 执 照 | 城 市 分 站
