本文介绍了一种适用于硅材料的氧、碳含量测定仪器,其具有如下特点:
1)可实现硅料中氧碳含量自动、快速、准确的测量,通过完整的谱图采集、光谱转换、光谱处理、光谱分析及输出功能,使操作更简便、方便、灵活。
2)仪器采用全密封防潮、防尘设计,适应能力更强,保证在各种环境条件下的使用。
3)外置式红外光源部件设计提高了热学稳定性,无需动态调整即可保持稳定的干涉度,高强度红外光源采用球形反射装置,获得均匀、稳定的红外辐射。
4)采用程控增益放大电路、高精度A/D转换电路及嵌入式微机应用,提高了仪器的精度和可靠性。
5)光谱仪通过USB方式与计算机连接,实现即插即用,通用微机系统提供友好、丰富的中文应用软件界面。
6)仪器具有专用样品固定架,高稳定性和抗震性设计,保质期长达12个月。
7)技术参数包括检测下限、硅片厚度范围、波数范围、分辨率、波数精度等,符合国家标准要求。不同的扫描速度可连续调节,信噪比高于15000:1,使用KBr镀锗分数器和标准配置的DTGS探测器。
8)数据系统连接通用微机,可输出高质量的光谱图,操作软件为全新中文MainFTOS软件。
9)仪尺寸为63*52*600px,交流电源为220V/50HZ,功率为1000VA。